蝕刻鉬合金,是一種有著高精度的微細加工技術,它被廣泛應用于半導體領域,也應用于航空航天領域,還應用于醫(yī)療設備領域以及高端電子領域。該工藝借助化學方法,在鉬合金表面精確地“雕刻”出復雜圖形,達到傳統(tǒng)機械加工難以達成的微結構制造目的。作為國內較早專注于精密金屬蝕刻的企業(yè)當中的一個,憑借十余年的技術積累,已經建立起一套成熟且穩(wěn)定的蝕刻工藝體系,特別是在銅合金材料的精密加工方面具備顯著優(yōu)勢,在不銹鋼材料的精密加工方面同樣具備顯著優(yōu)勢,在鉬合金材料的精密加工方面也具備顯著優(yōu)勢。
以下是主要工藝步驟,是蝕刻鉬合金的,要結合艾格斯電子的實際生產流程來進行詳解。
第一步:材料準備與表面清洗
挑選契合客戶需求的鉬合金板材,像TZM或者Mo - Re合金這種大連焊工招聘,依照圖紙予以裁剪,借助自動化上料系統(tǒng)大連鉚焊加工,保障材料尺寸的一致性,緊接著開展超聲波清洗,先后利用丙酮、酒精以及去離子水把油污與氧化層除掉,確保表面潔凈程度,為后續(xù)工藝奠定基礎。
第二步:涂覆光刻膠

潔凈車間當中,借助勻膠機把光敏膠均勻地涂布在鉬合金的表面。艾格斯電子選用進口的高分辨率光刻膠,并且聯(lián)合使用溫濕度控制系統(tǒng),以此保證膠層厚度均勻。涂膠之后開展前烘處理,溫度范圍是90–110℃,時間為15–30分鐘,目的是增強附著力。
第三步:曝光與顯影
對準材料,用紫外光刻機對已設計好的掩膜版進行曝光,公司配備高精度曝光設備能實現(xiàn)微米級圖形轉移,顯影后形成清晰抗蝕圖形,再經堅膜處理提升耐蝕性,確保蝕刻時圖形不脫落。
蝕刻鉬合金
第四步:化學蝕刻
針對帶有圖形的鉬合金,要把它放置至定制蝕刻液里。艾格斯電子依據(jù)不同合金成分對蝕刻配方予以優(yōu)化,常用的有NaOH/H?O?或者氟化物體系,將溫度控制在50–65℃氬弧焊,接著采用動態(tài)噴淋蝕刻技術,以此提升均勻性與效率。該公司對環(huán)保較為注重機加工工藝方法,配備了蝕刻液循環(huán)回收系統(tǒng),達成綠色生產。
第五步:去膠與清洗

在蝕刻得以完成之后,運用專用的去膠液去清除殘留的光刻膠,接著經過多級的去離子水進行沖洗,以此保證不存在化學殘留。艾格斯電子設置有封閉式的清洗線,從而防止出現(xiàn)交叉污染。
第六步:檢測與后處理
采用光學顯微鏡、三坐標測量儀等裝置來開展全檢工作機加工工藝方法,以此擔保尺寸精準度以及圖形完整性,在必要情形下實施退火處理,進而消除應力,公司已然通過ISO質量管理體系認證,其產品廣泛被應用于FPC補強、傳感器、醫(yī)療器件等領域。
是高新技術企業(yè),也是科技型中小企業(yè),不斷持續(xù)投入研發(fā),一心致力于給客戶供從打樣直至批量生產的一站式精密蝕刻解決方案,秉持“質量第一、客戶至上”理念,促使中國精密制造朝著更高水平邁進。